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半导体激光划片机

发布: 2008-09-01|已阅读: |来源:拓日光电|打印

半导体激光划片机

SDS50A

 

 
设备性能
半导体激光划片机,采用半导体泵浦激光器,一体化程度更高、光束质量更好、运行成本更低、免维护时间更长;
关键部件均采用进口产品,整机结构简单、划片速度快、精度更高,能24小时长期连续工作。
 
 
应用领域
太阳能行业单晶硅、多晶硅、非晶硅带太阳能电池片(cell)和硅片(wafer)的划片(切割切片);
电子行业单晶硅和多晶硅硅片(wafer)的分离切割。
 
 
主要技术参数

型号规格
SDS50A
激光波长
1.064μm
激光最大功率
≥50W
激光重复频率
200Hz~50kHz
划片线宽
≤30μm
最大划片速度
140mm/s
划片精度
≤±10μm
工作台幅面
350×350mm
工作电源
380V(220V)/50Hz/5kVA
冷却方式
外挂式恒温循环水冷
工作台
双气仓负压吸附,T型台双工位交替工作

 

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